真空技術と低温技術で
プラズマ応用機器分野と分析機器分野で貢献します

成膜装置

C&Vテクニクスの成膜装置【ロールコーター】とは

ロールコーターとは、プラスチックフィルム・金属フィルム等に連続的に表面処理する装置の総称です。弊社は真空成膜処理をするロールコーターを提供いたします。

真空成膜法にはプラズマCDV法、スパッタリング法と真空蒸着法等のプロセスがあります。弊社のロールコーターは、このどのプロセスにも対応できます。

そして、これらのプロセスを自由に組合せることができる連続成膜装置です。

C&Vのロールコーターは次のような特徴を備えたコンパクトでプロセスの多様性に対応した装置です。
  • ドラムレスのフラットWeb搬送
  • 処理表面の成膜前非接触のロールコーター
  • 異なるプロセスが連続処理できるロールコーター
    - CVD、スパッタ、エッチング、アニール等
  • 圧力、パワー、温度、ガス等
  • 新開発のTMP+CRT排気システムの採用
    - 素材ロールからのガス放出に対応



用途とRtoR装置ラインナップ

幅広い用途に対応できるよう装置のラインナップを用意しております。




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